半導(dǎo)體設(shè)備用超高純度不銹鋼管
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摘要: 半導(dǎo)體設(shè)備用輸送高純度氣體的配管大多數(shù)使用高純度SUS 316L鋼管。伴隨半導(dǎo)體集成化程度的提高,對使用的配管材料提出了愈來愈高的要求。為了不使配管自身成為污染源,要把非金屬夾雜物降低到最低限度;為抑制焊接時產(chǎn)生有害氣體,也要求提高鋼管的純凈度。新開發(fā)的KS 007不銹鋼,就是采用VIM-ESR-ESR三重熔煉法生產(chǎn)的,可以滿足上述要求的超高純度SUS 316L鋼。為適應(yīng)更惡劣的腐蝕環(huán)境,又在YUS 270鋼(20Cr-18Ni-6Mo)的基礎(chǔ)上,開發(fā)出高純度的KS 270鋼管。